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몰리브덴 질화물 박막의 제조방법 및 이를 통해 제조된 몰리브덴 질화물 박막

  • 출원번호

    10-2024-0132849

  • 출원인

    전성용

  • 출원일

    2024-09-30

  • 발명자

    전성용

  • 출원국

    국내

  • 기술분류

    생산기기 > 증착기기 > 박막증착

  • 기술분야

    기타

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