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비정질 산화물 반도체 박막의 제조방법 및 비정질 산화물 반도체 박막을 포함하는 반도체 소자의 제조방법

  • 출원번호

    10-2024-0120092

  • 출원인

    조성운

  • 출원일

    2024-09-04

  • 발명자

    조성운

  • 출원국

    국내

  • 기술분류

    산업용전자기기 > 반도체 > 증착

  • 기술분야

    NT

국가연구개발사업

연구번호 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1345370809 교육부 국립순천대 지자체대학협력기반지역혁신사업 (광주전남지역혁신플랫폼)전남대학교

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