-
출원번호
10-2014-0055347
-
등록번호
10-1575844
-
출원인
최경현
-
출원일
2014-05-09
-
등록일
2015-12-02
-
발명자
최경현
공동] 카므란 알리,당현우,김고범
-
출원국
국내
-
기술분류
산업용전자기기 > 반도체 > 증착
-
과학기술분류
전기/전자
-
기술분야
IT
SMK 영상보기
키워드
키워드를 클릭 하시면 관련 특허를 확인하실 수 있습니다- 증착용헤드
- 원자층
- 가스혼합
- 증착장치
- 롤투롤
