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출원번호
10-2005-0009203
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등록번호
10-0721790
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출원인
이헌주
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출원일
2005-02-01
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등록일
2007-05-18
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발명자
이헌주
공동] 크레멘아나톨리이바노비치,리아비탈렌틴아나톨리비치,사비노프블라디미르파블로비치,목영선
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출원국
국내
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기술분류
생산기기 > 증착기기 > 플라즈마발생
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과학기술분류
기계
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기술분야
ET
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