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출원번호
10-2017-0065388
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등록번호
10-1982615
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출원인
최경현
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출원일
2017-05-26
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등록일
2019-05-21
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발명자
최경현
공동] 김영수
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출원국
국내
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기술분류
생산기기 > 증착기기 > 원자층증착헤드
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과학기술분류
기계
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기술분야
NT
SMK 영상보기
국가연구개발사업
| 연구번호 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 10063277 | 산업통상자원부 | 제주대 | 기계산업핵심기술개발사업 | 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온·상압 패턴 증착 장비 개발 |
키워드
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- 증착
- 롤투롤
- 기판
- 불활성
