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나노 박막 증착 장치

  • 출원번호

    10-2017-0072406

  • 등록번호

    10-1970959

  • 출원인

    최경현

  • 출원일

    2017-06-09

  • 등록일

    2019-04-16

  • 발명자

    공동] 김현범

  • 출원국

    국내

  • 기술분류

    생산기기 > 증착기기 > 박막증착

  • 과학기술분류

    기계

  • 기술분야

    NT

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국가연구개발사업

연구번호 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
2016K000211 미래창조과학부 제주대 공공연구성과기술사업화지원사업 상온·상압 공정용 탄성표면파-정전기력 기반의 대면적 나노 박막 증착 기술개발

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