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출원번호
10-2017-0072406
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등록번호
10-1970959
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출원인
최경현
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출원일
2017-06-09
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등록일
2019-04-16
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발명자
최경현
공동] 김현범
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출원국
국내
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기술분류
생산기기 > 증착기기 > 박막증착
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과학기술분류
기계
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기술분야
NT
SMK 영상보기
국가연구개발사업
연구번호 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
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2016K000211 | 미래창조과학부 | 제주대 | 공공연구성과기술사업화지원사업 | 상온·상압 공정용 탄성표면파-정전기력 기반의 대면적 나노 박막 증착 기술개발 |
키워드
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