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출원번호
10-2006-0012138
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등록번호
10-0773925
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출원인
김상재
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출원일
2006-02-08
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등록일
2007-10-31
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발명자
김상재
공동] 이성익,오상율
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출원국
국내
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기술분류
나노소재 > 나노무기소재 > 전극패터닝
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과학기술분류
재료
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기술분야
BT
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키워드
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- 패터닝
- 기판
- 식각
- 미세물질층
