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출원번호
10-2018-0091533
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출원인
최경현
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출원일
2018-08-07
- 발명자
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출원국
국내
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기술분류
산업용전자기기 > 반도체 > 증착
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과학기술분류
전기/전자
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기술분야
IT
SMK 영상보기
국가연구개발사업
| 연구번호 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 10063277 | 산업통상자원부 | 제주대 | 산업핵심기술개발사업 | 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온 상압 패턴 증착 장비 개발 |
키워드
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