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출원번호
10-2020-0096873
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출원인
서혜원
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출원일
2020-08-03
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발명자
서혜원
공동] 장지원
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출원국
국내
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기술분류
화학소재 > 나노금속소재 > 티타늄산화물복합나노컬럼박막
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과학기술분류
재료
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기술분야
NT
SMK 영상보기
국가연구개발사업
| 연구번호 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1345317766(2017R1D1A1B03036132) | 교육부 | 제주대 | 개인기초연구(교육부)(R&D) | 플라즈마 공정조건의 최적화를 통한 우수한 퀄리티의 티타늄 산화질화 박막 성장 |
키워드
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