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원자층 증착장치용 가스 공급시스템(원출원 10-2018-0091533)

  • 출원번호

    10-2020-0180054

  • 출원인

    최경현

  • 출원국

    국내

  • 기술분류

    산업용전자기기 > 반도체 > 증착

  • 과학기술분류

    전기/전자

  • 기술분야

    IT

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