보유특허 발명자 서혜원 교수

주요 연구 키워드

  • 특허출원
  • 특허등록
  • 기술이전
  • 공동개발

복합 나노구조를 갖는 티타늄 산화물 복합 나노 컬럼 박막 및 이의 제조방법

  • 기술분야

    NT

  • 출원국

    국내

  • 발명자

    서혜원

    키워드
  • 산화불
  • 스퍼터링
  • 박막
  • 증착
  • 물리증기