보유특허 발명자 최경현 교수

주요 연구 키워드

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원자층 증착 헤드 및 이를 포함하는 원자층 증착 장치

  • 기술분야

    NT

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  • 발명자

    최경현

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폐 모방 칩 및 이의 제조방법

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    IT

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  • 발명자

    최경현

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  • 약물실험
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  • 폐모방
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내피 및 상피 세포가 동시배양된 인공 생체막 및 이의 제조 방법

  • 기술분야

    IT

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  • 발명자

    최경현

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  • 생체칩
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  • 동시배양
  • 인공생체막
  • 조직공학
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무선통신기반 풍력발전기 블레이드 상태측정시스템

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    IT

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  • 발명자

    최경현

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  • 표면파센서
  • 풍력발전기
  • 상태측정시스템
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  • 블레이드
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균일분사로를 갖는 원자층 증착장치용 헤드 및 그것을 이용한 원자층 증착장치

  • 기술분야

    ET

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  • 발명자

    최경현

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  • 기판
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  • 박막
  • 롤투롤
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고효율 원자층 증착장치용 헤드 및 그것을 이용한 원자층 증착장치

  • 기술분야

    IT

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  • 발명자

    최경현

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  • 반도체웨이퍼
  • 증착장치
  • 원자층
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양면 원자층 증착장치

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    IT

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    최경현

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  • 헤드구조
  • 증착장치
  • 롤투롤
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원자층 증착장치용 가스 공급시스템

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    IT

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    최경현

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  • 증착장치
  • 가스공급시스템
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래치를 이용한 칩홀더

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    기타

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    최경현

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