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• 공동개발

몰리브덴 질화물 박막의 제조방법 및 이를 통해 제조된 몰리브덴 질화물 박막

• 기술분야

  기타

• 출원국

  국내

• 발명자

  전성용

키워드

• 스퍼터링
• 박막
• 질소및아르곤유량비제어
• 몰리브덴질화물
• 결정립미세화